水用高精度冷却机-中型ETU-规格,图片,属性-好利旺机械（上海）有限公司

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水用高精度冷却机-中型ETU

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水用高精度冷却机-中型ETU

在半导体，液晶，光学等广泛的制造领域，有着对液体高精度温控的需求。

产品属性:

ORION 好利旺通过定电流控制技术实现高精度控制，同时降低耗电量热电式有两种控制方式，一种是根据负载状态改变流向半导体制冷片的电流量以及电流方向，称为定电流控制；另一种是根据负载状态 ON/OFF 半导体制冷片，称为 PWM 控制方式。

定电流控制方式与 PWM 控制方式相比，可以实现高精度控制，并且节约能源。本公司采用定电流控制方式，实现高精度温控和节能，满足水和药液的精密控温需求。

在半导体，液晶，光学等广泛的制造领域，有着对液体高精度温控的需求。 ORION 好利旺通过定电流控制技术实现高精度控制，同时降低耗电量热电式有两种控制方式，一种是根据负载状态改变流向半导体制冷片的电流量以及电流方向，称为定电流控制；另一种是根据负载状态 ON/OFF 半导体制冷片，称为 PWM 控制方式。定电流控制方式与 PWM 控制方式相比，可以实现高精度控制，并且节约能源。本公司采用定电流控制方式，实现高精度温控和节能，满足水和药液的精密控温需求。

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高精度液体温控器

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描述

用途案例
: ■晶圆抗蚀液的间接温控

■蚀刻液的间接温控

■光盘镀膜液的间接温控

■液晶玻璃镀膜液的间接温控

■晶圆和玻璃基板的板材温控

规格

形式			ETU201-VW	ETU302-VW	ETU702-VW
性能	适用液体		清水
	温度控制范围	℃	10.00～ 60.00（但不要产生结露）
	温度控制精度 ※1	℃	±0.03※ ±0.01 可定制
	冷却能力 ※2	W	200	300	700
	加热能力 ※2	W	400	600
适用环境温度范围		℃	10～ 35
排热方式			水冷
运转控制方式			定电流控制
恒温水	泵送能力（50Hz/60Hz）		5L/min对应 7ｍ /10ｍ		10L/min对应 5ｍ /8ｍ
	邮箱容量	L	1.2(开放 )		2.0(开放 )
	出入口配管连接口径		Rc3/8
冷却水	适用温度范围	℃	10～ 35（但不要产生结露）
	使用流量	L/min	3～ 5		5～ 8
	耐水压强	MPa	0.69以下
	出入口配管链接口径		Rc3/8
电气特性	电源	V(Hz)	单相 100 ±10%（50/60）	单相 200 ±10%（50/60）
	电流（50/60Hz) ※3	A	7.3/7.6	3.9/4.0	4.7/4.8
	电源容量	kVA	0.8		1
外观			油漆颜色：sRGB N8.0/N5.5
产品重量		kg	20		25
外形尺寸（高✖长✖深）		mm	380×380×230		380×440×250