丨现场快讯丨好利旺机械-无锡半导体展CSEAC-2026
- 发布时间：2026-08-31
【概要描述】 ORION作为全球化近百年品牌，在日本、中国、泰国等国家设有生产基地，服务网络覆盖亚洲、欧洲、美洲，致力于为客户提供高品质产品与一站式服务并赢得海内外客户的认可。 公司主营真空泵、冷水机、超高精度恒温恒湿机、压缩空气净化系统以及压缩空气温控器等，产品应用于泛半导体、光学、航天航空、汽车制造、纳米级精加工等高端领域。
丨现场快讯丨好利旺机械-无锡半导体展CSEAC-2026
【概要描述】 ORION作为全球化近百年品牌，在日本、中国、泰国等国家设有生产基地，服务网络覆盖亚洲、欧洲、美洲，致力于为客户提供高品质产品与一站式服务并赢得海内外客户的认可。
公司主营真空泵、冷水机、超高精度恒温恒湿机、压缩空气净化系统以及压缩空气温控器等，产品应用于泛半导体、光学、航天航空、汽车制造、纳米级精加工等高端领域。
- 分类：简报资讯
- 作者：好利旺小编
- 来源：
- 发布时间：2026-08-31 12:53
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第14届半导体设备与核心部件展示会
无锡市太湖国际博览中心
8.31-9.2 B3号馆B3-349
2026CSEAC
2026年8月31日~9月2日，第14届半导体设备与核心部件展示会（简称：CSEAC）在无锡市太湖国际博览中心隆重举办。
ORION以”温湿精控，制程基石——半导体工艺设备温控解决方案“为核心主题，为您展示稳定＆高精度
广泛应用的解决方案，超高精度恒温恒湿机、压缩空气温控器、精密液体温控器、冷水机、压缩空气净化系统、真空泵等。
ORION 好利旺产品优势
R系列 恒温恒湿机 与普通5HP套装空调对比，最大节能80%
与电流ON-OFF对比，控制精度高，稳定性好
稼动、良率、效率无后顾之忧
01
超高精度恒温恒湿机PAP系列
温度控制精度：±0.05及以下 ℃
湿度控制精度：±0.5％
温控、除湿、净化一体机
应用实例:超精密以及精密机床、曝光机·光刻机、涂胶显影机、精密测量、精密检测。
我司提供局部精密温湿度控制洁净方案，如需咨询详细信息，请联系销售办事处。
02
冷水机（精密液体温控器）ETU/CKS系列
光刻载台、激光器持续产热，是否造成晶圆套刻偏移、硅片热变形，良率断崖跳水？
产线反复停机校准、良率起伏，消耗大量生产成本？
担忧光刻机、量测等昂贵设备因过热而寿命锐减、更换成本飙升？
ORION好利旺源头化解“热”危机
应用实例：
CD SEM 晶圆量测设备、全自动晶圆探针台、胶涂显影机、半导体薄膜沉积设备、光刻产线集群。
非标定制：
①±0.01℃的高精度控制。
②含氟液体温度控制。
如需咨询详细信息，请联系销售办事处。
03
压缩空气精密温控机ACU系列
半导体制程良率跳水？
温控波动才是藏在产线的隐形杀手
提供 365 天稳定运行的
全系列压缩空气温控方案
为半导体制程打造
「微控、恒温、稳定」气源底座
温控流体：压缩空气
应用实例：光刻机配套温控、等离子干法刻蚀机配套温控等
ORION好利旺压缩空气温控器助力压缩空气精准温控（±0.01℃）＆低温冷却（-30℃以上）
04
压缩空气净化系统CRX系列
稳制程！提良率！降损耗！
半导体超精密制程压缩空气净化方案来了！
温控流体：压缩空气
应用实例：半导体前道光刻、中道晶圆划片设备、后道封装设备等。
ORION 好利旺压缩空气净化解决方案，让效率、良率、稼动再无后顾之忧！
05
无油式真空泵KRF/KHD系列
如需咨询详细信息，请联系销售办事处。
联系我们，助力半导体制程的半导体工艺设备实现高精度温控管理。
产品规格表/外形图等详细信息请拨打业务咨询热线：021-67698069（工作时间：8:00am-5:00pm) 或发送咨询信息至邮箱：sales@orionsh.com
展位分布图：
ORION作为全球化近百年品牌，在日本、中国、泰国等国家设有生产基地，服务网络覆盖亚洲、欧洲、美洲，致力于为客户提供高品质产品与一站式服务并赢得海内外客户的认可。
公司主营真空泵、冷水机、精密空调、压缩空气净化系统以及压缩空气温控器等，产品应用于泛半导体、光学、航天航空、汽车制造、纳米级精加工等高端领域。
电话热线：021-67698069
（工作时间：08:00 AM-17:00 PM）
邮箱：sales@orionsh.com
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我们将通过提供令客户满意的产品和服务，不断创造新价值，始终以“世界顶端产品”为目标向前发展。
匠人匠心，不忘初心
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