曝光机的温控管理专家
- 发布时间：2023-11-28
【概要描述】曝光机的工艺过程离不开高精度温湿度控制和洁净度。通过恒温恒湿设备、精密空调和洁净棚等手段，可以确保曝光过程的准确性、稳定性和可靠性。对于保证曝光设备的正常运行和提高生产效率起重要作用。
曝光机的温控管理专家
【概要描述】曝光机的工艺过程离不开高精度温湿度控制和洁净度。通过恒温恒湿设备、精密空调和洁净棚等手段，可以确保曝光过程的准确性、稳定性和可靠性。对于保证曝光设备的正常运行和提高生产效率起重要作用。
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- 作者：好利旺小编
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- 发布时间：2023-11-28 15:47
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曝光精度的提高对工件和设备工作环境的温湿度稳定性要求越来越高
多年来，随着集成电路产业的迅速发展，工业技术的变革促进曝光机行业中光源的发展历程：从卤素光源→LED光源→激光直写→光刻。
在应用上表现为曝光精度的不断提高，从微米级→亚微米级→纳米级。
曝光精度的提高对工件和设备工作环境的温湿度稳定性要求越来越高。
物体由于温度改变而有胀缩现象并造成形变,即热膨胀系数。从下图中可以获知：温度对不同材料的形变都有一定的影响。
如果运用在纳米级别的工艺流程中，温湿度的变化对工件的形变会有更显著的影响。
目前，激光直写工艺要求环境温湿度控制精度高；而光刻工艺更加严苛。
ORION好利旺机械的产品能够满足曝光机行业对环控设备的高要求。
配置了先进的温湿度控制系统，能够在稳定的工况环境下保证曝光精度的稳定性。
我们的产品具备以下优势：
1.温湿度控制精度高：可以精确控制温度（±0.1℃）和湿度（±1%），确保在曝光设备工作时环境的稳定性。
2.高效净化功能：可以配合温湿双控制洁净棚，通过HEPA高效过滤网组合，有效去除空气中的微尘和细菌，保证曝光设备的洁净度要求。
（产品在客户现场的实际使用情况）
3.高效节能性：ORION好利旺超高精密空调采用先进的热泵平衡®节能技术和直流变频控制技术，能够在满足高精密温湿度控制的同时，降低能源消耗，提高能源利用效率，可达节能80%。
4.稳定可靠性：ORION好利旺超高精密空调具有稳定的工作性能，能够全年稳定运行，有效解决变频温控难以控制的春夏过度期间的温度偏差，为曝光机行业提供优质服务。
5.智能化管理：ORION好利旺超高精密空调配备了智能化的控制系统，能够实时显示设定温度和测量温度，并能够灵活设定运转时间和停止时间，提高设备运行的稳定性和效率。
>>>ORION好利旺机械的行业实际应用经验丰富
ORION好利旺的产品已经得到了许多终端应用厂商的认可和采用。
他们在曝光机行业中广泛应用ORION好利旺机械的产品，取得了良好的效果。
ORION好利旺机械与这些客户建立了长期合作关系，并不断优化和改进我们的产品，适应日益提高的市场需求。
如果您对ORION好利旺机械的产品有需求，请随时联系我们。我们将竭诚为您提供优质的服务。欢迎垂询！
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