实现高精度控制
电导冷热的快速响应和好利旺独有的高精度控制使高精度温控成为可能。
低振动、低噪音
与搭载压缩机的冷冻干燥机不同,由于采用帕尔贴技术的电子制冷模块的振动极少,所以可以将振动和噪音对精密加工部件的影响降至最低。
采用半导体热电式温控技术
帕尔贴模块快速响应特性配合ORION好利旺独有的高精度控制技术,使高精度温控成为可能。
高精度环境控制可使超精密加工中热偏差降至最低,最终使主机最大限度地发挥性能。
主要特点
- 空气温度控制在±0.01℃。
- ACU100-MD、ACU300-MD、CU600-MD以上机型在除湿基础上附带压力调节功能。
- 紧凑的设计能够节省空间。
实现高精度控制
电导冷热的快速响应和好利旺独有的高精度控制使高精度温控成为可能。
低振动、低噪音
与搭载压缩机的冷冻干燥机不同,由于采用帕尔贴技术的电子制冷模块的振动极少,所以可以将振动和噪音对精密加工部件的影响降至最低。
用途案例
- 精密加工机
- 精密测量机
- 半导体·FPD
- 制造装置
- 分析仪器
- 精密涂布机
- 局部空间的精密温控
- 加工物、测量物的温控
产品规格表
※1 出口空气流量,入口空气温度,周围湿度在稳定状态、没有急剧变动的情况下。(入口空气温度配置:1℃/10min以内)
※2出口空气压力大于0.4MPa时,最低出口空气流 量在45L/min以上使用。
※3入口空气压力在0.25MPa以下时,由于本机内压力损失,最大流量如下。ACU300-MD: 270L/min、ACU600-MD: 520L/ min、ACU1000B: 870L/min。
※4入口空气温度28℃时。
※5尽管安装了过滤器,但并非是保证出口空气过滤器达到的过滤度。※空气流量是指压缩机的吸入状态(大气压力、20℃、65%)的 换算值。※详细内容请参照说明书。注)ACU600-MD为接单生产产品。
外形图
压力损失曲线图
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