ETD、ETN 系列
[电源单元]
ETD232-SA-A-G2 / ETD452-SA-G2
ETD832-SA-G2
[冷却单元]
ETN23A-N / ETN45A-N / ETN90A-N
电源单元和冷却/加热单元构成一组。
化学药液（BHF,DHF药液等）精密温控器-ETD·ETN系列
对湿法工艺必不可少的化学品进行直接、高精度的温度控制
产品属性:
浏览量:
1000
所属分类
高精度液体温控器
数量
-
+
1
1/1
浏览量:
1000
描述
- 冷却能力
- 约280～920W
- 控制精度
- ±0.1℃
- 控温范围
- 15～50℃
- 0.3MPa耐水压结构
- 用于控制的温度中心可以内置在冷却装置中
（特殊订单） - 连接线有延长线
（可选的） - 用途案例
-
半导体制造湿法工艺中使用的化学品的温控（RCA 清洁，蚀刻，显影剂）
规格
规格表（冷却/加热单元）
| ETN23A-N | ETN45A-N | ETN90A-N | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 适用流体※1 | DIW/DHF/BHF/FPM/SC1 | ||||
| 性能 | 控温范围 | ℃ | 15～50（超过50个请联系我们） | ||
| 控制精度 | ℃ | ±0.1(取决于条件) | |||
| 冷却能力/加热能力※2 | W | 約280/約600 | 约460/约1,000 | 约920/约2,000 | |
| 放热(冷却)方式 | 水冷式 | ||||
| 控制用温度传感器 | Ω | Pt100(JIS0.2級)铁氟龙模具（可选） | |||
| 内部压力损失（化学侧） | MPa | 0.01以下(流量15L/min) | 0.02 (流量15L/min时) |
||
| 机内耐压性（化学侧） | MPa | 0.3 | |||
| 环境工作温度范围 | ℃ | 15～35 | |||
| 化学溶液侧出口/入口连接 | 3/4”×5/8”×L150(New PFA) | ||||
| 放热水 | 水量 | L/min | 5～7 | ||
| 联系 | 3/8”×1/4”×L150(PFA) | ||||
| 热交换接液部材质 | 化学方面 | PTFE, New PFA | |||
| 冷却水侧 | 石墨、PPE、SUS316、PFA、NBR | SUS304, 316, PFA | |||
| 外装 | 硬质PVC | ||||
| 质量 | kg | 约10 | 约14 | 约28.5 | |
| 外形尺寸（高×深×宽） | mm | 220×330×147 | 260×530×145 | ||
- 请与我们联系以获取未列出的浓度和化学溶液。 （根据浓度，可能不使用。）
- 设定温度25℃、冷却水25℃、冷却水量 5 ～ 7L/min、周囲温度 25℃时
规格表（电源单元）
| ETD232-SA-A-G2 | ETD452-SA-G2 | ETD832-SA-G2 | ||
|---|---|---|---|---|
| 在输入电流 (AC208V) | A | 最大约4.5 | 最大约9 | 最大约17 |
| 电源 | V(Hz) | 单相200～240(50/60) | ||
| 制御方式 | PID 控制 自整定 | |||
| 质量 | kg | 约5.0 | 約10 | 約18 |
| 外形尺寸（高×深×宽） | mm | 165×430×140 | 215×460×165 | 305×470×2408 |
关键词:
化学药液
精密温控机
化学药液热电式温控技术
BHF药液温控
DHF药液温控
控温单元
电源单元
好利旺
Orion
半导体湿法工艺
热交换器
化学药液精密温控机
化学药液
DHF药液
BHF药液
RCA清洁
蚀刻
显影剂
超eco产品
节能药液温控器
上一个
水用高精度冷却机-大型PEC
下一个
乙二醇水溶液冷却器LPC系列
021-67698069
服务中心
> 行业技术信息
> 售前咨询
> 售后点检以及维修服务
> 保养指导
> 优惠政策&碳中和
> 合作洽谈
> 更多内容
更多内容以及视频请微信
扫一扫了解更多
ORION好利旺在中国
总机 021-67698069 业务资讯-请转分机号：318
销售直线 021-67632686 售后直线 021-57631997
Email:
Address:
上海市松江区九亭镇田富路35号
Copyright © 好利旺机械（上海）有限公司 All Right 沪ICP备2021037870号-1 网站建设：中企动力 浦东 SEO
近年来我们进一步发展了我们的精细温控以及节能技术，并积极推动了地球绿色环境的产品开发。
我们将通过提供令客户满意的产品和服务，不断创造新价值，始终以“世界顶端产品”为目标向前发展。
匠人匠心，不忘初心
搜索
恒温恒湿精密空调 | 真空泵及真空系统 | 冷水机以及冷却系统 | 压缩空气净化设备