水用高精度冷却机-大型PEC-规格,图片,属性-好利旺机械（上海）有限公司

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水用高精度冷却机-大型PEC

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水用高精度冷却机-大型PEC

在半导体，液晶，光学等广泛的制造领域有着对液体的高精度恒温控制要求。

产品属性:

冷冻式热泵平衡液体温控技术〔PEC 系列〕

热泵平衡控制 = 节能控制通过完全无电加热器 + DC（直流无刷电机）实现 80%节能

热泵平衡控制技术——

完全废除了电加热器的跨时代碳中和技术加热器 PID 控制方式是各行业普遍使用的温控加热方式，然而其最大的缺点是耗电量巨大。

在对高精度和节能的追求下，ORION 好利旺最终开发完全无电加热器的精密控温设备，它具有传统加热器 PID 控制无法比拟的节能效果，以及制冷剂排热再利用无法实现的广域控温。

冷冻式热泵平衡液体温控技术〔PEC 系列〕热泵平衡控制 = 节能控制通过完全无电加热器 + DC（直流无刷电机）实现 80%节能热泵平衡控制技术—— 完全废除了电加热器的跨时代碳中和技术加热器 PID 控制方式是各行业普遍使用的温控加热方式，然而其最大的缺点是耗电量巨大。在对高精度和节能的追求下，ORION 好利旺最终开发完全无电加热器的精密控温设备，它具有传统加热器 PID 控制无法比拟的节能效果，以及制冷剂排热再利用无法实现的广域控温。

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描述

用途案例
: ■晶圆抗蚀液的间接温控

■蚀刻液的间接温控

■光盘镀膜液的间接温控

■液晶玻璃镀膜液的间接温控

■晶圆和玻璃基板的板材温控

规格

形式			PEC400B1-VW	PEC900B1-VW	PEC1500A1-V（受注生产品）
性能	适用液体		清水
	温度控制范围	℃	10.0～ 60.0	10.0～ 45.0	15.0～ 30.0
	温度控制精度 ※1	℃	±0.05以下
	控制方式		热泵平衡控制
	冷却能力 ※2	W	1.0	4.0	6.2
	加热能力 ※3	W	1.0	4.0	6.2
使用环境温度范围		℃	10～ 40	15～ 35
恒温水	使用压力（50Hz/60Hz）	MPa	0.13～ 0.25	0.13～ 0.27/0.18～ 0.41
	使用最低循环量（50Hz/60Hz）	L/min	18/26（扬程 25m）	40（扬程 26/40m）
	出口配管连接口径		Rc1/2	Rc3/4
	入口配管连接口径		Rc1/2	Rc3/4
冷却水	使用温度范围	℃	15～ 32		—
	使用压力	MPa	0.69以下		—
	出口配管链接口径		Rc1/2	Rc3/4	—
电气特性	电源 ※4	V(Hz)	三相 200±10％
	消耗电力（50/60Hz) ※5	kW	1.2/1.4	2.2	3.3/3.5
	电流（50/60Hz) ※5	A	5.2/5.4	7.8	12.0/12.2
	电源容量 ※6	kVA	1.9	2.8	4.2
	冷媒压缩机功率	kW	0.275	1.7
日本冷吨			0.14	0.53	0.80
冷媒			R134a	R410A
冷媒填充量		kg	0.28	0.75	1.35
产品重量		kg	100	220	295
外形尺寸（高✖长✖深）		mm	1200×600×450	1500×900×640	1600×900×640